精密清洗所采用的技术手段
一、在清除工件表面污染物反面
1、清洗介质的化学反应力、溶解力、表面张力、乳化力、分散力、生物分解力、臭氧的氧化力。
2、附加的机械外力如摩擦力、研磨力、喷射力、离心力、抖动力。
3、附加的物理能如热能、超声波能、激光、等离子体、高压惰性气体的动能、紫外线等。
4、把湿法清洗和干法清洗有机的结合起来。
二、在漂洗和达到最终清洁度方面
1、在溶剂蒸汽层中漂洗，避免二次污染；
2、多次漂洗、多槽漂洗、多种介质漂洗、流动水冲洗、喷洗；
3、用蒸馏回收的清洗液喷淋漂洗；
4、用经水处理的纯水和超纯水喷淋漂洗、避免离子残留；
5、使工件运行方向与漂洗介质溢流方向相反，既逆向漂洗。
三、在工件干燥方面
1、在溶剂蒸气中汽相干燥、冷气干燥；
2、用净化过滤器过了的清洗热空气干燥；
3、离心力干燥；
4、甲醇、乙醇、异丙醇溶剂脱水干燥；
5、真空干燥；
6、有机溶剂置换脱水干燥；
7、纯水慢拉脱水干燥，使水的表面张力保持大于水对工件表面附着力。
四、加强对清洁度的控制和监控
1、由肉眼观察转变到用仪器检测；
2、由清洗后检测转变到在清洗过程中清洁度监控；
3、由定性分析转变到即定性又定量分析；
4、有宏观分析转变到宏观、微观一起分析；
5、采用更先进的仪器来检测，如离子色谱仪、红外和紫外分光光度计、高效液相色谱仪、扫描电镜、X射线光电子能谱仪（XPS）、俄歇电子能谱仪（AES）等。
五、使用洁净的原、辅材料和改变清洗环境条件
高清洁度的产品要有洁净的原、辅材料和环境条件来保证。精密清洗中，使用的原材料和辅助材料都要用洁净的，有的要使用超级别的和电子级的，包括水的净化，试剂的净化，气的净化等。此外，环境的净化也十分重要，否则，洗干净的产品在环境中很快又被污染了。因此，配备一定级别的洁净室和洁净厂房是很有必要的。
六、采用更先进的使清洗介质不断循环过滤、蒸馏再生的技术
在清洗过程中，为了把清洗介质中的污染物和杂质分离出去，除了用普通的过滤技术外、常用到过滤精度更高的膜过滤技术，如超滤、微滤、纳滤、电渗析、反渗透等。
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